地面式主動隔振平臺STACIS Quiet Island
主動隔振平臺STACIS Compact Quiet Island
主動隔振平臺STACIS Floor Platform
SEM主動隔振平臺SEM-base VI
SEM主動隔振平臺SEM base LP
地面式主動減振平臺TOOL-base
氣浮綜合性主動隔振系統LaserTable-base
主動消振系統Stage-base
BT輕薄阻尼隔振光學平臺